Milli-Q Intergal MT は後継機種が発売されました。5秒待ってもページが変わらない場合は、こちらをクリックしてください。
ICP-MS（極微量元素分析）, 半導体洗浄
Milli-Q® Integral MT 微量元素分析タイプ
水道水直結型Milli-Q 水・純水（Elix 水）製造システム
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特長
極微量元素分析に対応
極微量元素分析、半導体洗浄等には高純度の超純水が必要です。 Milli-Q 本体での超純水精製に加え、Q-POD Element により極微量の金属を極限まで除去します。これにより水由来のバックグラウンドを抑えられ、安定した結果を出すことができます。
クリーンな採水環境への対応を実現
| 環境からの汚染を防ぐために、採水部のみをクリーンドラフトに設置し、フットスイッチにより手を検体上部にかざさずに採水することも可能です。 |  |
Q-POD Element
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| 1. クオンタムICP オールレジン（イオン交換 樹脂）のカートリッジにより、金属元素を極限まで除去。微量元素分析でのバックグラウンドを低減します。 |
| 2. オプチマイザーLW 超高分子量ポリエチレン製の半導体製造グレードの0.1 μmメンブレンフィルターです。イオンの溶出を極限まで抑えたフィルターで、超純水による洗浄済みです。 |
| 3. 専用採水台&採水口 専用採水台、専用採水口はクリーンドラフトなど自由な場所に設置。環境からの汚染を抑えます。 |
| 4. フットスイッチ サンプルに手をかざすことなく採水することで、環境からの汚染を防止します。 |
| ※ Q-POD Element は必ず第1POD としての設置となります。Q-POD を増設する場合は第2（第3）POD となります。 ※ Q-POD Element の複数台接続は不可 |
各種測定結果
ICP-MS による水質分析例
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| 測定装置：Agilent 8800（半導体仕様）+ MFN100（Agilent Technologies） ※ 0.05%HNO3 base 標準添加検量線を外部検量線に変換して定量（数値はバックグランドを含む最大濃度） 1）Application Note vol.38 Milli-Q Integral 微量元素分析タイプのICP-MS 分析への適用 |
シリカ測定結果
| 連続してシリカ濃度 < 0.1 ppb（参考値： < 0.05 ppb）を達成。 |
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仕様
| 機種名 | Integral 3 | Integral 5 | Integral 10 | Integral 15 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Elix水 | 製造能力 | 3L / 時 | 5L / 時 | 10L / 時 | 15L / 時 | |
| 除去方法 | プレフィルター + 活性炭 + RO + EDIモジュール + 254 nmUV | |||||
| 純度（EDI製造水）比抵抗値 | 5 MΩ・cm以上 | |||||
| 採水量（E-POD） | 最大2L/分 | |||||
| Milli-Q水 | 除去方法 | 185 nmUV + 活性炭 + イオン交換 + メンブレンフィルター | ||||
| 純度（水質） | 比抵抗 | 18 MΩ・cm以上 | ||||
| TOC値 | 5 ppb以下 ※2 | |||||
| 採水量（Q-POD） | 最大2 L / 分 | |||||
| 供給水 | 供給水 | 水道水、井水（イオン交換、純水は不可） | ||||
| 通常運転水量 | 26 L / 時 | 29 L / 時 | 46 L / 時 | 65 L / 時 | ||
| 水圧 | 0.1∼0.3 Mpa （安定してあること ※1） | |||||
| 接続（推奨） | 1/2" バルブ止めメスねじ推奨 | |||||
| 使用温度 | 5∼35℃ | |||||
| 電気伝導度 | 80∼1000 µS/cm | |||||
| 総硬度 | 300 ppm以下 | |||||
| 溶存炭酸ガス | 30 ppm以下 | |||||
| FI（5）値 | 12以下 | |||||
| 残留塩素 | 3 ppm以下 | |||||
| 寸法 | 本体 | 幅332 × 奥行484 × 高500（mm） | ||||
| POD | 直径230 × 高さ579（mm） | |||||
| 重量 | 本体 乾燥時 | 18(24) kg | 19(25) kg | 20(26) kg | 21(28) kg | |
| POD | 4.7 kg | |||||
| 電源 | 100-230 V 50/60 Hz 1.6 A （コンセント口1つ） | |||||
| タンク | 容量（実容量） | 30 L （25 L） | 60 L （51 L） | 100 L （82 L） | ||
| 寸法（ASM含） | Ф380 × 高720mm |
Ф380 × 高960mm |
Ф380 × 高1375mm |
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| アンダーベンチタンク | - | Ф380×545mm | 幅420 ×奥行580 ×高712mm | |||
システム構成品
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メンテナンス情報
Milli-Q Integral長期間の運転停止方法
Milli-Q Integralの長期間の運転停止方法および停電・断水時前後の対処方法については、こちらのPDFをご覧ください。（319KB）
| Q1.A10 UVランプを交換してください：メンテナンスランプ（黄色）が点灯 | |
| A. | 原因：A10 UVランプの交換推奨時期が来ました。 対処方法：A10 UVをご用意いただき、交換を実施してください。 |
| INT Exchange A10 Lamp.pdf | |
| Q2.185nmUVランプを交換してください：メンテナンスランプ（黄色）が点灯 | |
| A. | 原因：185nmUVランプの交換推奨時期が来ました。 対処方法：185nmUVをご用意いただき、交換を実施してください。 |
| INT Exchange 185nm Lamp.pdf | |
| Q3.本体254nmUVランプを交換してください：メンテナンスランプ（黄色）が点灯 | |
| A. | 原因：本体254nmUVランプの交換推奨時期が来ました。 対処方法：本体254nmUVをご用意いただき、交換を実施してください。 |
| INT Exchange 254nm Lamp.pdf | |
| Q4.ASM 254nmUVランプを交換してください：メンテナンスランプ（黄色）が点灯 | |
| A. | 原因：ASM 254nmUVランプの交換推奨時期が来ました。 対処方法：ASM 254nmUVをご用意いただき、交換を実施してください。 |
| INT Exchange ASM254nm Lamp.pdf | |
| Q5.装置の電源をOFFにしたい。 | |
| A. | 装置電源の切り方を記します。 |
| How to power off Integral series.pdf | |
| Q6.「POD PAKコウカン」メッセージが表示 | |
| A. | 原因：各種最終フィルターの交換時期の可能性があります。 対処方法：各種最終フィルターを交換してください。 |
| PodPak exchange.pdf | |
※上記以外の場合は、ラボウォーター事業部 テクニカルサービスへご連絡ください。
お問合せ先
- On-Lineフォーム：製品・技術に関するお問合せ
- TEL（営業）：03-4531-3939
- TEL（技術・サービス）：03-4531-1139
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