超純水製造ユニット Super-Q™

超純水製造ユニットSuper-Q™ は、Milli-Q^® HX 7000シリーズで一次処理した高純水を原水として、無機イオン、有機物、微粒子、微生物、コロイドを除去し、最高純度の超純水を5 ～ 15 L/分 供給します。
半導体メモリー、ディスク、TFTカラー液晶などの高集積化、高密度化、大画面化の研究開発、試作、評価、生産に必要な超純水を簡便、コンパクトにご利用いただけます。
また、洗浄などで大量の超純水を必要とされるパイロットプラント向けとしても最適です。

• 取り扱いやすい4連式カートリッジタイプで、短時間の純度立ち上がりが可能
• 用途により標準タイプ、低TOCタイプ、脱パイロジェンタイプの選定が可能
• ループ配管（超純水送水配管）を含めた汚染管理・メンテナンスを考慮したシステム構築が可能
• 遠隔操作・採水口追加が可能