579211
テトラキス(ジメチルアミド)ジルコニウム(IV)
electronic grade, ≥99.99% trace metals basis
別名:
TDMAZ, テトラキス(ジメチルアミノ)ジルコニウム(IV)
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この商品について
化学式:
[(CH3)2N]4Zr
CAS番号:
分子量:
267.53
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352103
MDL number:
grade
electronic grade
Quality Segment
assay
≥99.99% trace metals basis
form
solid
reaction suitability
core: zirconium
mp
57-60 °C (lit.)
storage temp.
2-8°C
SMILES string
CN(C)[Zr](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI
1S/4C2H6N.Zr/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
InChI key
DWCMDRNGBIZOQL-UHFFFAOYSA-N
Application
テトラキス(ジメチルアミド)ジルコニウム(IV)は、ガスセンサーからマイクロエレクトロニクスのHigh-k誘電体までの用途が見出される、ジルコニウムの原子層堆積（ALD）のための前駆物質として使用できます。
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signalword
Danger
hcodes
target_organs
Respiratory system
supp_hazards
保管分類
4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
wgk
WGK 3
flash_point_f
No data available
flash_point_c
No data available
ppe
Eyeshields, Gloves, type P3 (EN 143) respirator cartridges
Hazard Classifications
Eye Irrit. 2 - Flam. Sol. 1 - Skin Irrit. 2 - STOT SE 3 - Water-react. 2
適用法令
試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。
第2類:可燃性固体 + 金属粉末 + 危険等級II + 第一種可燃性固体
fsl
名称等を表示すべき危険物及び有害物
ishl_indicated
名称等を通知すべき危険物及び有害物
ishl_notified
579211-5G:4.548173944456E12
jan