で組織・契約価格をご覧ください。
サイズを選択してください
表示を変更する
この商品について
化学式:
((CH3)2N)3SiH
CAS番号:
分子量:
161.32
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
UNSPSC Code:
12352103
EC Number:
239-165-0
MDL number:
Quality Segment
assay
≥99.9% (GC)
form
liquid
bp
142 °C (lit.)
mp
−90 °C (lit.)
density
0.838 g/mL at 25 °C (lit.)
SMILES string
CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C
InChI
1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3
InChI key
TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N
General description
トリス(ジメチルアミノ)シランは、揮発性が高く熱安定性に優れた有機シリコン化合物で、太陽電池、燃料電池触媒、半導体など、さまざまな用途のシリコン含有薄膜を製造するための蒸着前駆物質として広く使用されています。蒸着は、低い基板温度(<150)で行うことができます。TDMAS の融点と蒸気圧は適切な動作範囲内にあるため、非常に優れた蒸着前駆物質となっています。
Application
トリス(ジメチルアミノ)シランは次の用途に使用できます。
- 原子層堆積法による色素増感太陽電池の TiO2 アノードへのアルミニウムケイ酸塩を堆積するためのシリコン源。
- Li イオン電池用の機能化された Si 強化セパレーターを製造するための前駆体。
Still not finding the right product?
Explore all of our products under トリス(ジメチルアミノ)シラン
signalword
Danger
supp_hazards
保管分類
4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water
wgk
WGK 3
flash_point_f
16.0 - 32.0 °F - closed cup
flash_point_c
-8.89 - 0.00 °C - closed cup
Hazard Classifications
Acute Tox. 3 Dermal - Acute Tox. 3 Inhalation - Acute Tox. 4 Oral - Eye Dam. 1 - Flam. Liq. 2 - Skin Corr. 1B - Water-react. 2
適用法令
試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。
第4類:引火性液体 + 第一石油類 + 危険等級II + 非水溶性液体
fsl


