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Merck

553468

トリス(tert-ブトキシ)シラノール

99.999%

別名:

TBS

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この商品について

化学式:
((CH3)3CO)3SiOH
CAS番号:
18166-43-3
分子量:
264.43
NACRES:
NA.23
PubChem Substance ID:
24879332
UNSPSC Code:
12352103
MDL number:
MFCD00271024

主要文書

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InChI

1S/C12H28O4Si/c1-10(2,3)14-17(13,15-11(4,5)6)16-12(7,8)9/h13H,1-9H3

SMILES string

CC(C)(C)O[Si](O)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C

InChI key

HLDBBQREZCVBMA-UHFFFAOYSA-N

assay

99.999%

form

solid

bp

205-210 °C (lit.)

mp

63-65 °C (lit.)

Quality Level

100

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General description

トリス(tert-ブトキシ)シラノールは、さまざまな金属アルキルアミドと反応して、金属ケイ酸塩の蒸着のための前駆体としての役割を果たすことができます。また、シリカの沈着のための前駆体としても適しています。

Application

トリス(tert-アルコキシ)シラノールは、ケイ酸ハフニウムガラス膜の気相体積のためにテトラキス(ジメチルアミノ)-ハフニウム蒸気（Hf(N(CH3)2)4）と反応します。 トリス(tert-アルコキシ)シラノールは、非晶質の二酸化ケイ素と酸化アルミニウムのナノ積層のコンフォーマル性（密着度）の高い層の原子層堆積（ALD）に使用されます。

保管分類

11 - Combustible Solids

wgk

WGK 3

flash_point_f

Not applicable

flash_point_c

Not applicable

ppe

Eyeshields, Gloves, type N95 (US)

適用法令

試験研究用途を考慮した関連法令を主に挙げております。化学物質以外については、一部の情報のみ提供しています。 製品を安全かつ合法的に使用することは、使用者の義務です。最新情報により修正される場合があります。WEBの反映には時間を要することがあるため、適宜SDSをご参照ください。

553468-5G: + 553468-25G: + 553468-BULK: + 553468-VAR:

jan

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試験成績書（COA）

Lot/Batch Number
SHBT0503
SHBS7093
SHBS1974
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